ZFT-78-50A真空探针台

 

系统特性：

ZFT-78-50A是一个经济型的高真空探针台，它除了有探针台的基本功能外，还能为测试提供高真空与特殊气体环境；它可以提供足够多的备用接口，可作为光学，电学，气体导入等实验提供接口。国际通用的接口设计，让系统的升级更加容易。该系统是超高真空探针台，极限真空在1*10-4Pa以上。被测器件的最大尺寸可达到50mm(2inch)。它可以为材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同应用的需要。
系统适用于实验室级别的电学特性测量和分析。
半导体特性分析
系统支持脉冲式的半导体特性分析。
适用于材料、热敏感器件和先进存储芯片等技术研究。
与电测产品集成、可重复的脉冲和DC测量于一体的解决方案。
国际通用的真空接口设计，使未来的扩展与升级更加容易。
变温范围从-196℃~400℃
极限真空在1*10-4Pa以上
应用领域：
半导体器件：片上参数测试、晶圆级可靠性、封装器件的特性分析、C-V、I-V特性分析、易受自加热效应影响的器件和材料的等温测试 ；
光电器件：半导体激光二极管特性分析 、 收发模块DC/CW特性分析 PIN和APD特性分析 ；
科研应用：碳纳米管特性分析，材料研究，电化学；
ZFT真空探针台涵盖所有标准应用：包括C-V、C-t、及C-f量测与分析，支援高与低K介电系数结构、MOSFET、BJT、二极体、快闪记忆体、光伏特元件、III-V族复合元件、以及奈米碳管(CNT)元件分析等。
一、基本配置：

 四个针座、真空腔、样品台、分子泵机组、显微镜、控温仪、液氮杜瓦、电磁铁、特斯拉计、电缆管线、和探针等必要附件。
二、主要性能和技术参数：
1、针座
★1.1 针座数量：4个；
★1.2系统漏电：＜300fA；
 1.3 探针台外部接头到探针使用三同轴连接;
 1.4调节范围：X ZY方向25mm；
 1.5探针具有50欧姆传输电阻设计，为射频测试提供良好的阻抗匹配；
 1.6前后端均为国际通用的CF35标准法兰，信号线的任意更换。
2、样品台
★2.1 工作温度：-196℃ ~ 400℃连续可调；
▲2.2 尺寸：50*50 mm；
 2.3 控温稳定性：优于0.5℃
 2.4 从室温到78K的降温时间：30分钟。
3、真空样品腔
▲3.1 真空度： 1*10 ^-4 Pa
 3.2 工作温度：-196℃ ~ 400℃；
 3.3 带整体气动隔震支架与水平安装底座。
 3.3 腔体共4个高真空探针座安装孔，采用国际标准高真空法兰，可用作探针座安装孔，
 3.4 观察窗真径：80mm。
 3.5 备用真空法兰口两个或更多，CF50/CF35法兰密封。
4、温度传感器与控制
具有实时观察与控制样品台温度的功能；
▲5、控温仪通道数： 2通道；PLC控制。
6、光学观测系统
 6.1 三目立体显微镜,分辨率： 5μm；
 6.2 三方向射灯光源；
 6.3 300万或以上像素彩色CCD、计算机双屏显示。；
 6.4 显微镜可360度旋转。
 6.5 显微镜支架横向可调，调节范围：300mm。
7、液氮杜瓦
 7.1 容量：≥50L；
 7.2 全部为不锈钢结构，杜瓦底部安装万向轮；
 7.3 工作压力：0.1MPa；
 7.4 静态日蒸发率：1% ；
 7.5 包括复合压力表，减压阀，双安全阀，可连接3/8”& 1/2”液氮管线的快速接头，可锁定脚轮，差分液面计。
8、分子泵机组:
 8.1 极限压强： 6×10^-6 （Pa）；
 8.2 抽气速率： 110（L/s）
 8.3 采用皮拉尼真空计，测量范围为 5 x 10-9 毫巴至大气压（3.8 x 10-9 托至大气压）。