ZFT-00005A高精度自动平移台

 
系统特性：ZFT系列自动平台可通过控制软件控制，对XYZR轴方向进行定位及移动，从而对样品进行逐行扫描；XYZ三轴移动精度可达到0.5微米以下,扫描范围的有效行程可根据要求定制，可通过图形界面实时观察扫描进度.系统X,Y轴采用直线电机系统，该系统具有稳定性强，平滑,线性好,机械磨损小,维护方便等特点，直线电机与光栅尺组成的闭环系统与旋转电机系统相比具有精度高,无传动误差,速度快等优点；
软件功能：控制软件针根据客户要求定制开发，三轴位移控制(通过键盘和鼠标控制)，可实现移动位置设置，视屏定位,运动速度设置，扫描起始位置设置,扫描终止位置、设置等设置功能.以求实现最人性化的运动控制扫描系统功能: 扫描记录与存储,横向扫描,纵向扫描,自动定位,零点记录(可将扫描范围内任意位置设置为零点.),自动复位至机械零位；
扫描方式：横向,纵向(扫描方式,扫描精度,扫描速度,扫描范围可通过软件自行设置.)；
扫描范围：定制（10~1000mm）
扫描精度：扫描精度:小于0.0005mm.
驱动方式：X,Y轴采用直线电机；电机推力110N,峰值推力400N
速度：最高2米/秒