垂直磁场探针台

 

系统特性：

ZFT-50-78CZ是一个综合性多的多功能探针台，它除了有探针台的基本功能外，还能为测试提供高真空与特殊气体环境；重直穿过样品台的磁力线方向可调，磁场强度连续可调，并且安装了高精度磁力计，可为测试提供最为精准的磁场环境。该系统是超高真空探针台，极限真空在1*10-4Pa以上。被测器件的最大尺寸可达到50mm(2inch)。它可以为材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同应用的需要。
系统适用于实验室级别的精准电学特性测量和分析。
半导体特性分析；
系统支持脉冲式的半导体特性分析；
适用于材料、热敏感器件和先进存储芯片等技术研究；
与电测产品集成精确、可重复的脉冲和DC测量于一体的解决方案；
国际通用的真空接口设计，使未来的扩展与升级更加容易；
变温范围从-196℃~400℃；
极限真空在1*10-4Pa以上；
应用领域：
半导体器件：片上参数测试、晶圆级可靠性、封装器件的特性分析、C-V、I-V特性分析；
易受自加热效应影响的器件和材料的等温测试 ；
光电器件：半导体激光二极管特性分析、收发模块DC/CW特性分析、PIN和APD特性分析； 
科研应用：碳纳米管特性分析，材料研究，电化学；
ZFT真空探针台涵盖所有标准应用：包括C-V、C-t、及C-f量测与分析，支援高与低K介电系数结构、MOSFET、BJT、二极体、快闪记忆体、光伏特元件、III-V族复合元件、以及奈米碳管(CNT)元件分析等。