全封闭式自动充气探针台解决方案

1 技术要求
全封闭式充气探针台用于完成晶圆上每一个芯片的暗电流、击穿电压、平均暗计数和平均光子探测率等关键参数的测量，并实现测量数据的自动采集、分析和存储。
芯片测试系统应具备的功能和达到的技术指标如下：
1.1 功能
(1) 芯片测试探针台移动方式为自动。
(2) 能够对芯片测试探针台中用来放置被测晶圆的卡盘进行高低温控制。
(3) 测试数据实现自动记录、分析和存储。
(4) 系统的测试温度和压力全部自动控制。
1.2 技术指标
(1) 芯片测试探针台移动精度：≤3um，重复定位精度：≤3um。
(2) 芯片测试探针台卡盘低温控制范围：0℃～-40℃；
(3) 控制精度：±1℃。
(4) 芯片测试探针台卡盘高温控制范围：0℃～200℃,控制精度：室温℃～100℃：±1℃；100℃～200℃：±2℃；
2 系统组成和工作原理
根据芯片的测试需求，芯片测试系统主要由自动探针台，显微镜，制冷机组，加热器，大流量真空泵，微形真空泵，温压控制系统，减震系统，工业相机，计算机，安全系统等组成。